全国首家 12 英寸晶圆再生工厂在合肥量产

品玩7月15日讯,据合肥市人民政府发布,合肥至微项目成为国内最早具备 12 英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一,全国首家 12 英寸晶圆再生工厂现已实现量产。

据介绍,合肥至微项目总投资近 10 亿元,于 2020 年 3 月正式开工、2020 年 12 月项目设备调试、2021 年 3 月试生产,并在今年 6 月进入量产阶段。

合肥量产的这一晶圆再生项目以 14 纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的 12 英寸晶圆再生产线。